Lieu d'origine:
Chine
Nom de marque:
Ruideer
Certification:
CE
Numéro de modèle:
630.530.430
Vidéo
Forneau de revêtement à dépôt de vapeur chimique contenant des précurseurs de TiCL4, AICL3 et des gaz de procédé
La machine de revêtement CVD est une technique de revêtement sous vide de pointe, qui utilise un équipement de dépôt chimique pour déposer une fine couche de matériau sur la surface d'un substrat.Ce type d'appareil de revêtement de surface offre une large gamme de vitesses de revêtement., de 0,1 à 2,0 m/min. Il assure également une pression de revêtement précise et uniforme, avec une stabilité de pression de -±2mbar.qui assure une température de substrat stable pour des résultats de revêtement optimaux. L'ensemble du processus est contrôlé par un système PLC, qui assure une épaisseur de revêtement précise et une uniformité.
Les différences entre les processus ALD et CVD:
ALDest une technique de dépôt chimique de vapeur basée sur une réaction de surface autolimitée
Films de dépôt une couche atomique à la fois
Exiger des températures plus basses
Utile dans la production de semi-conducteurs et de circuits intégrés, de cellules solaires à couche mince et dans la production de revêtements à haute performance pour composants optiques.
Les maladies cardiaquesest une technologie de traitement des matériaux largement utilisée dans laquelle des films minces sont formés sur un substrat chauffé par une réaction chimique de précurseurs en phase gazeuse.
Filmes de dépôt avec une gamme d'épaisseurs plus large
Exigent des températures plus élevées
Utilisé dans des domaines tels que l'optique, la microélectronique et la science des matériaux, où il aide à la fabrication de films minces et de revêtements pour les appareils électroniques, le dépôt de revêtements sur les lentilles et les miroirs,et la synthèse de divers matériaux.
| Modèle d'équipement | CVD430 à 1250 | CVD430 à 1600 | CVD530 à 1250 | CVD530 à 1600 | CVD630 à 1250 | CVD630 à 1600 |
| Espace effectif (mm) | ΦPour les appareils à moteur | Φ4Pour les appareils de surveillance de la sécurité | Φ500X1250 | ΦPour les appareils électroniques | Φ600X1200 | Φ600X1600 |
| Puissance de chauffage ((KW) | 39 | 48 | 45 | 55 | 65 | 80 |
| Quantité de zone de chauffage | 4 | 5 | 4 | 5 | 4 | 5 |
| Emprise des équipements (en mm) | 6000*5800*4800 | 6000*5800*5100 | 6500*6000*4800 | 6500*6000*5100 | 7200*6200*4800 | 7200*6200*5100 |
| Température du procédé(°C) | 700 à 1050 | |||||
| Précurseurs et gaz de procédé | TiCL4,AICL3- Je vous en prie.3CN,H2, N2Je vous en prie.2HCI, H2S | |||||
| Types de revêtement | Les émissions de dioxyde de carbone sont déduites de l'échantillon de dioxyde de carbone2Je vous en prie.3Je ne sais pas.2Je vous en prie.3 | |||||
| Équipement facultatif |
1. Neutralisateur de gaz éteint (y compris dispositif d'évacuation); 2. Distributeur de gaz de deuxième étage (y compris les conduites); 3. stations-service (y compris les conduites) |
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• Normes de conception
L'équipement est conçu conformément aux prescriptions relatives aux récipients sous pression du Bureau de la qualité et de la supervision technique et est qualifié après les essais sous pression et expédié.La conception et la construction électriques sont conformes aux normes nationales.
• Tests préalables à l'installation et pré-acceptation
L'équipement est entièrement assemblé dans notre usine, y compris tous les tuyaux, les tuyaux sous vide, les tuyaux de gaz de procédé, les tuyaux d'eau de refroidissement, les tuyaux d'air comprimé, etc.Des essais préalables peuvent être effectués après l'installation. sur le site du client, les conduites autres que l'équipement sont fournies par le client. l'installation comprend également le raccordement de tous les câbles. sur le site du client, les conduites sont fournies par le client.le câble principal reliant l'appareil électrique est fourni par le clientAprès l'installation, nous effectuons des tests de fuite sous vide et sous pression positive sur l'ensemble de l'équipement, ainsi que des tests de fonctionnement mécanique et électrique.
• Démontage et transport
L'équipement sera démonté en plusieurs grandes pièces, emballé de manière standardisée et chargé dans le véhicule de transport.
• Installation et mise en service du site client
L'ingénieur après-vente de Redel dirigera l'équipe pour terminer la mise en service, la combustion des essais de produits et d'autres travaux dans les 20 jours ouvrables.Le client doit se préparer et fournir les outils nécessaires., tels que les équipements de levage et de levage. et fournir un soutien du personnel d'installation (il est recommandé d'avoir 1 personnel mécanique et 1 personnel électrique).
• Acceptation définitive
Après l'installation et la mise en service, l'équipement peut être finalement accepté conformément aux exigences du contrat technique.
• Formation
Nos ingénieurs après-vente fourniront une formation systématique et complète sur place, y compris l'exploitation, la maintenance, le dépannage, etc.
• Transmission des données techniques
Afin d'assurer un fonctionnement et une maintenance sûrs des équipements, les données techniques suivantes seront fournies aux clients:
1. Mise en place de l'équipement
2. Manuel d'utilisation
3. Liste des pièces détachées
4- Des dessins électriques
5. manuel du composant
Questions fréquentes
Q: Êtes-vous une usine ou une société commerciale?
R: Nous sommes le premier fabricant chinois de fours à vide à haute température avec plus de 10 ans d'expérience.
Q: Avez-vous une personnalisation ou un service OEM?
R:Oui, nous avons une puissante équipe de R&D et des équipements de haute technologie. Nous pouvons donc non seulement fournir le modèle régulier, mais aussi le four personnalisable comme réparation de nos clients.
Q: Quel est votre avantage?
A: Je suis désolé.
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