logo
Envoyer le message
À la maison > produits > Machine de revêtement de CVD >
HTCVD CVD au carbure de silicium SIC Fourniture de croissance épitaxique zones de contrôle de température multiples

HTCVD CVD au carbure de silicium SIC Fourniture de croissance épitaxique zones de contrôle de température multiples

Le four de croissance de l'épitaxie HTCVD

fourneau à chauffage à courant continu au carbure de silicium

CVD SIC fourneau de croissance épitaxy

Lieu d'origine:

La Chine

Nom de marque:

Ruideer

Certification:

CE

Numéro de modèle:

Personnalisable

Nous contacter
Demandez un devis
Détails du produit
Espace effectif (mm):
1000*1000*1500
Puissance de chauffage ((KVA):
300
Max. Je tape.:
1500℃
Uniformité de température:
≤ ± 7°C
Le vide ultime:
10pa
Gaz de procédé:
MTS、Ar、H2
Conditions de paiement et d'expédition
Quantité de commande min
1 série
Prix
Négociable
Détails d'emballage
boîtiers en bois
Délai de livraison
5-6 mois
Conditions de paiement
L/C, T/T
Capacité d'approvisionnement
5 à 6 mois/ensemble
Description du produit

fourneau de croissance de l'épitaxie pour le carbure de silicium (CVD SIC)

Ces équipements sont utilisés pour le revêtement de carbure de silicium de matériaux à base de carbone ou de céramique,en particulier le dépôt de carbure de silicium sur la surface de l'épitaxial du semi-conducteur et de l'anneau de gravure.

Le taux de revêtement est un indicateur très important pour les clients en aval, qui est directement lié à la capacité de production des équipements.Notre équipement peut atteindre un taux de dépôt de 50 microns par heure, et peut également être équipé d'un refroidissement rapide, ce qui réduit considérablement le temps de production.

Caractéristiques techniques

1. Utilisation de zones de contrôle de température multiples, grande uniformité de température;

2. une chambre de dépôt spécialement conçue avec un bon effet d'étanchéité et de bonnes performances anti-contamination;

3. Utilisation de canaux de dépôt multiples avec débit de gaz uniforme, sans coin mort de dépôt et surface de dépôt parfaite;

4Il a un traitement pour le goudron, la poussière solide et les gaz organiques pendant le processus de dépôt


• Normes de conception

L'équipement est conçu conformément aux prescriptions relatives aux récipients sous pression du Bureau de la qualité et de la supervision technique et est qualifié après les essais sous pression et expédié.La conception et la construction électriques sont conformes aux normes nationales.

• Tests préalables à l'installation et pré-acceptation

L'équipement est entièrement assemblé dans notre usine, y compris tous les tuyaux, les tuyaux sous vide, les tuyaux de gaz de procédé, les tuyaux d'eau de refroidissement, les tuyaux d'air comprimé, etc.Des essais préalables peuvent être effectués après l'installation. sur le site du client, les conduites autres que l'équipement sont fournies par le client. l'installation comprend également le raccordement de tous les câbles. sur le site du client, les conduites sont fournies par le client.le câble principal reliant l'appareil électrique est fourni par le clientAprès l'installation, nous effectuons des tests de fuite sous vide et sous pression positive sur l'ensemble de l'équipement, ainsi que des tests de fonctionnement mécanique et électrique.

• Démontage et transport

L'équipement sera démonté en plusieurs grandes pièces, emballé de manière standardisée et chargé dans le véhicule de transport.

• Installation et mise en service du site client

L'ingénieur après-vente de Redel dirigera l'équipe pour terminer la mise en service, la combustion des essais de produits et d'autres travaux dans les 20 jours ouvrables.Le client doit se préparer et fournir les outils nécessaires., tels que les équipements de levage et de levage. et fournir un soutien du personnel d'installation (il est recommandé d'avoir 1 personnel mécanique et 1 personnel électrique).

• Acceptation définitive
Après l'installation et la mise en service, l'équipement peut être finalement accepté conformément aux exigences du contrat technique.

• Formation
Nos ingénieurs après-vente fourniront une formation systématique et complète sur place, y compris l'exploitation, la maintenance, le dépannage, etc.

• Transmission des données techniques

Afin d'assurer un fonctionnement et une maintenance sûrs des équipements, les données techniques suivantes seront fournies aux clients:

1. Mise en place de l'équipement
2. Manuel d'utilisation
3. Liste des pièces détachées
4- Des dessins électriques
5. manuel du composant

Questions fréquentes

Êtes-vous une usine ou une société commerciale?

Q: Êtes-vous une usine ou une société commerciale?
R: Nous sommes le premier fabricant chinois de fours à vide à haute température avec plus de 10 ans d'expérience.

Avez-vous un service de personnalisation ou d'OEM?

Q: Avez-vous une personnalisation ou un service OEM?
R:Oui, nous avons une puissante équipe de R&D et des équipements de haute technologie. Nous pouvons donc non seulement fournir le modèle régulier, mais aussi le four personnalisable comme réparation de nos clients.

Quel est votre avantage?

Q: Quel est votre avantage?
A: Je suis désolé.

Je réponds rapidement à votre demande.

L Contrôle de qualité élevé

L Chaîne d'approvisionnement stable

Livraison en temps opportun

Un excellent service après-vente


Envoyez votre demande directement à nous

Politique de confidentialité Chine Bonne qualité four de hanche d'agglomération Le fournisseur. 2019-2025 sinterhipfurnace.com . Tous droits réservés.