Furonnes à revêtement CVD au carbure de silicium pour les supports de graphite ou les anneaux de gravure

Furonnes à revêtement CVD au carbure de silicium pour les supports de graphite ou les anneaux de gravure

Cet équipement est utilisé pour le dépôt de carbure de silicium sur la surface de matériaux à base de carbone/céramique, spécialement pour les semi-conducteurs et les anneaux de gravure.

Le graphite susceptor, un disque de graphite de haute pureté, avec une rainure circulaire pour fixer le substrat.une couche de film cristallin poussera à la surface du substrat, qui est la couche épitaxienne.

Les procédés de wafer comme la lithographie et l'implantation ionique sont tous effectués sur la couche épitaxienne.La base épitaxielle en graphite ne peut évidemment pas répondre aux exigences de propreté ultra-hautes du procédé des semi-conducteurs..

Pour cette raison, nous devons utiliser des dépôts chimiques de vapeur sur la base pour envelopper une couche de film dense de carbure de silicium.

• Normes de conception

L'équipement est conçu conformément aux prescriptions relatives aux récipients sous pression du Bureau de la qualité et de la supervision technique et est qualifié après les essais sous pression et expédié.La conception et la construction électriques sont conformes aux normes nationales.

• Tests préalables à l'installation et pré-acceptation

L'équipement est entièrement assemblé dans notre usine, y compris tous les pipelines, les pipelines sous vide, les pipelines de gaz de procédé, les pipelines d'eau de refroidissement, les pipelines d'air comprimé, etc.Des essais préalables peuvent être effectués après l'installation. sur le site du client, les conduites autres que l'équipement sont fournies par le client. l'installation comprend également la connexion de tous les câbles. sur le site du client, les conduites sont fournies par le client.le câble principal reliant l'appareil électrique est fourni par le clientAprès l'installation, nous effectuons des tests de fuite sous vide et sous pression positive sur l'ensemble de l'équipement, ainsi que des tests de fonctionnement mécanique et électrique.

• Démontage et transport

L'équipement sera démonté en plusieurs grandes pièces, emballé de manière standardisée et chargé dans le véhicule de transport.

• Installation et mise en service du site client

L'ingénieur après-vente de Redel dirigera l'équipe pour terminer la mise en service, la combustion des essais de produits et d'autres travaux dans les 20 jours ouvrables.Le client doit se préparer et fournir les outils nécessaires., tels que les équipements de levage et de levage. et fournir un soutien du personnel d'installation (il est recommandé d'avoir 1 personnel mécanique et 1 personnel électrique).

• Acceptation définitive

Après l'installation et la mise en service, l'équipement peut être finalement accepté conformément aux exigences du contrat technique.

• Formation

Nos ingénieurs après-vente fourniront une formation systématique et complète sur place, y compris l'exploitation, la maintenance, le dépannage, etc.

• Transmission des données techniques

Afin d'assurer un fonctionnement et une maintenance sûrs des équipements, les données techniques suivantes seront fournies aux clients:

1. Mise en place de l'équipement

2. Manuel d'utilisation

3. Liste des pièces détachées

4- Des dessins électriques

5. manuel du composant