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LE FILM EST LE "SQUELETTE, LES VAISSEAUX SANGUINS, LA PEAU ET LE CERVEAU" DE LA PUCE, ET TOUS CES ÉLÉMENTS SONT INDISPENSABLES.

2026-08-12

Pourquoi le semi-conducteur a-t-il besoin de films minces?

Une seule puce est, en substance, une structure tridimensionnelle formée par l'empilement précis de centaines de couches minces.

Chaque couche remplit une fonction spécifique:

Type de film mince	Fonction	Matériaux typiques
Couche conductrice	Diriger le courant électrique et connecter les appareils	Al, Cu, W, TiN
Couche d'isolation	Isoler les circuits et prévenir les fuites électriques	SiO2, SiN, faible k
Couche de barrière	Prévenir la diffusion et améliorer la fiabilité	TaN, TiN, W
Matériau de la porte	Commutation du dispositif de contrôle	Porte métallique en polysilicium
Couche de passivation	Protéger la surface et améliorer la stabilité	Sion, Sion
Couche diélectrique	Stocker la charge électrique pour réaliser des fonctions

Technologie de film mince à semi-conducteurs

PVD: les atomes sont éjectés de la cible sur la plaque par des moyens physiques;
CVD: Les films minces sont formés par des réactions chimiques de gaz sur la surface de la gaufre.

Comment le film est-il formé?

1Source de matériau: cible solide, réactif gazeux ou précurseur chimique;
2- Transport: par plasma, vide, gaz porteur ou diffusion;
3Réaction de surface: une adsorption physique ou une réaction chimique se produit à la surface de la plaque;
4- nucléation et croissance: agrégation atomique pour la nucléation, la croissance insulaire, la formation continue de film et la densification;
5Formation de film: Formation d'un film mince avec une épaisseur croissante, une structure dense et une microstructure stable.

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