Machine de revêtement fortement automatique de CVD de RDE 530L avec deux chambres de réaction

Four fortement automatique de revêtement de CVD de RDE 530L avec deux chambres de réaction

1. forces d'équipement

1,1 mode automatique. Selon les arrangements de processus, les différents composants et processus sont automatiquement commandés. Le contrôle automatique inclut le commutateur de valve, le contrôle de flux de gaz de processus, le contrôle de flux liquide de processus, le contrôle de la pression de réacteur, le four de chauffage et le contrôle de température de chauffage électrique de ceinture, etc., sans intervention humaine dans le processus entier. Le procédé d'opération automatique réalise le traitement d'alarme automatique. Selon différents types d'alarme, il entrera automatiquement le mode d'alarme pour protéger les produits dans le four. Après que l'alarme soit sortie, elle peut être manuellement reconstituée à l'état avant l'alarme.

1.2. Le processus est surveillé dans tout le processus, toutes les données de capteur et le statut de valve sont sauvés aux données historiques, qui peuvent être regardées à tout moment.

1.3. Mode manuel. Il y a un contact de sécurité, qui réalise automatiquement la serrure selon le type et la température de gaz à l'intérieur du réacteur, et le réacteur ne peut pas être ouvert à volonté. Le mode manuel est placé avec l'opération d'un-bouton, telle que nettoyer à l'aspirateur, la purge_de H₂, la purge de N2, etc., aucun besoin de déplacer manuellement différentes valves et pompes à vide.

1.4. Les données d'alarme sont automatiquement sauvées, et les données historiques peuvent être recherchées à tout moment.

2. Environnement de travail d'usine

2,1 humidité et température ambiantes

2.1.1 humidité ambiante : <90>

2.1.2 température ambiante : 5℃~40℃

2,2 alimentation d'énergie

2.2.1 alimentation d'énergie : 380V±10%, 50Hz, système à cinq fils triphasé

2.2.2 alimentation d'énergie de contrôle : 210V~250V, 50Hz, monophasé

2,3 source d'air

2.3.1 pression d'air comprimé : 6-7bar,

2.3.2 pression de l'AR : 2-3bar,

2.3.3 pression et écoulement de H₂ : 2-3bar, 0-75slm

2.3.4 pression et écoulement de N2 : 2-3bar, 0-50slm

2.3.5 pression et écoulement de Co : 2-3bar, 0-2.5slm

2.3.6 pression et écoulement de CO2 : 2-3bar, 0-5slm

2.3.7 pression CH4 et écoulement : 2-3bar, 0-5slm

2.3.8 pression et écoulement de HCL : 2-3bar, 0-5slm

2.3.9pressionetécoulementde H₂S: 2-3bar,0-0.4slm

2,4 source d'eau

2.4.1 pression d'admission de l'eau de refroidissement : 2-3bar, l'eau pure est recommandé. La température est 13-16°C. (des clients doivent être équipés avec de l'eau effrayant), l'écoulement d'eau de refroidissement, 5m3/h.

2.4.2 source d'eau de réserve de secours (être préparé par l'utilisateur)

Pression : 1.5bar-2bar.